化學(xué)鍍膜最早用于在E光學(xué)元件表面制備保護(hù)限， 在1817年，F(xiàn)raunhofer在德國(guó)用濃硫酸或硝酸侵蝕玻璃，偶然廣泛的應(yīng)用。而目前大家公認(rèn)，次獲得減反射膜， 但該我術(shù)當(dāng)時(shí)并改有得到的開始年代是1835璃銀鏡的發(fā)明。在此之后，20世紀(jì)相地發(fā)明↓年德國(guó)化學(xué)家利比格手工涂鍍坡鍍膜方法。

　　1935 年美國(guó)的Strong和德國(guó)的Smakula,幾乎同時(shí)發(fā)明在真空下將氟化鈣蒸發(fā)和凝結(jié)到玻璃表面上的方法，制成制成單層減反射涂層。1942 年美國(guó)的Lyon用沉積到預(yù)先加熱的玻璃上的方法，制備出第一個(gè)穩(wěn)定的和耐磨的單層減反射涂層，第二次世界大戰(zhàn)后，這種材料和沉積技術(shù)亦變成了標(biāo)準(zhǔn)工藝。

　　1938年美國(guó)研制多層誠(chéng)反射涂層， 不久在歐洲也取得了成功。但是.對(duì)多層系統(tǒng)達(dá)到技術(shù)上完美的解決，是1949年首先由Awarter獲得的這種被稱為"Transmax”的優(yōu)質(zhì)減反射雙層涂層，此產(chǎn)品一出現(xiàn)立即供不應(yīng)求。1965年寬帶三層減反射系統(tǒng)研制成功，那時(shí)借助于現(xiàn)代電子計(jì)算機(jī)，已能較容易而快速地設(shè)計(jì)出膜系統(tǒng)。

　　高反射涂層的工業(yè)研制早于減反射涂層，利用高反射金屬膜可以使玻璃的反射率顯著提高。1835 年以前，已用化學(xué)濕選法沉積出銀鏡膜。1912 年P(guān)ohl和Pring-sheim首先嘗試了在真空條件下，用各種金屬的蒸發(fā)和凝結(jié)來(lái)沉積鏡面膜，他們用陶瓷坩堝作為蒸發(fā)源。1928 年Ritsch也蒸發(fā)出銀鏡。1933年Strong找到了一種既簡(jiǎn)單又富有成效的蒸發(fā)鋁的技術(shù)，他用鋁加在螺旋形成的鎢絲蒸發(fā)器上，這種技術(shù)目前仍經(jīng)常使用。用鋁蒸發(fā)技術(shù)制鏡在各方面都優(yōu)于銀，在可見光范圍，鋁的反射率差不多與銀相同，但在紫外區(qū)卻比銀高得多，鋁與玻璃的黏附強(qiáng)于銀，而且當(dāng)暴露在大氣中時(shí)不失去光澤。